產品特點

<<  采用碳化硅陶瓷氣浮導軌，超性能精度

<<  速度1m/s，加速度4g，快速的整定時間

<<  Y軸雙驅雙龍門結構，承載能力強

<<  可選光柵或激光干涉儀位置反饋

<<  定位精度±0.15um，重復定位精度±75nm

<<  優化線纜管理系統

<<  根據需求可定制

背景介紹

       隨著半導體行業的不斷發展，相應的加工檢測設備的性能必須提高，我司在運動控制上有著豐富的定位經驗，推出了一款平面式H形雙軸超精密氣浮運動臺。QFHDS采用有限元分析優化的碳化硅陶瓷結構和氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提供了最高動態性能。廣泛應用于半導體加工、檢測，微納加工、納米級飛切拋光加工及高速掃描等行業。

超精度設計

       QFHDS結構采用先進的碳化硅陶瓷設計，比鋁合金氣浮導軌性能約高5倍，熱膨脹系數約低5倍。用此材料及結構提升了動態跟蹤誤差，高速響應頻率及位置穩定性，速度達到1m/s,加速度可達4g.利用多年的氣浮軸承制造經驗，開發一種新的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現快速運動和非常快的位置整定。

       根據應用，QFHDS可用于主動或被動隔振系統，可安裝旋轉臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等，整套設備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。

       我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保無故障操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。

非接觸式直驅設計

       QFHDS的核心是運用了先進的直線電機，采用了無鐵芯設計，實現了超平穩的運動。步進軸和掃描軸使用多個電機驅動，安裝位置接近于負載水平面，以提高直線度、平面度和傾角誤差等，同時電機是隔熱的，對于高占空比應用，電機可選水冷或氣冷，盡量避免因電機發熱引起的誤差。

規格指標

 注：1. 空氣供應需清潔，干燥至0°F露點，灰塵顆粒過濾≤0.25um或純度99.99%氮氣。

         2. 以上精度測量的測試位置在工作臺面中心以上25mm處，測試環境溫度20±1℃，濕度40%-60%RH.

外形尺寸