多軸精密氣浮臺
QFL3D系列三軸氣浮運動臺
QFL3D系列是目前我司制造的性能卓越，結構緊湊的三軸氣浮運動臺。廣泛應用于精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業。由于非接觸式運動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。
產品特點
<< 非接觸式氣浮導軌結構
<< 重復定位精度±75nm
<< 微動步進5nm
<< 結構緊湊、精度高
<< 優化線纜管理系統
<< Z軸低摩擦氣缸配重減輕Z軸電機出力
<< 根據需求可定制
背景介紹
QFL3D系列是目前我司制造的性能卓越，結構緊湊的三軸氣浮運動臺。廣泛應用于精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業。由于非接觸式運動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。
直線臺設計
QFL3D是一款非接觸式預負載氣浮直線臺，氣浮非接觸式結構已經證明是精密應用中的理想選擇，適用于微納制造，測試測量和光子學對準等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是微動步進，還是速度穩定性的要求，QFL3D都證明是最終的解決方案。
定制化設計
根據用戶實際應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如單軸Z軸低摩擦氣缸配重結構，雙軸T形曲面加工結構和三軸間行程大小等都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到最小，各軸也可以定制化，保證精度性能。
線纜優化管理
經過多年的研究，線纜管理對精指標度有影響，我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保無故障操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
潔凈室兼容性
氣浮軸承本質上與潔凈室環境兼容，高質量的無塵線纜管理系統也符合實驗室環境。
規格指標
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型 號 |
QFL3D-50-50-25 |
QFL3D-100-100-50 |
QFL3D-150-150-50 |
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|
運動軸 |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
行程（mm） |
50 |
50 |
25 |
100 |
100 |
50 |
150 |
150 |
50 |
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驅動系統 |
直驅直線電機 |
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定位精度（um） |
±0.2 |
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重復定位精度（nm） |
±50 |
±75 |
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分辨率（nm） |
0.3 |
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|
微動步距（nm） |
5 |
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最大速度（mm/s） |
200 |
300 |
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|
加速度（g） |
2 |
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直線度（um） |
±0.15 |
±0.5 |
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|
平面度（um） |
±0.25 |
±0.5 |
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負載（Kg） |
5.5 |
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|
操作壓力（MPa） |
0.5±0.05 |
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空氣消耗量（SLPM） |
20 |
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注：1. 空氣供應需清潔，干燥至0°F露點，灰塵顆粒過濾≤0.25um或純度99.99%氮氣。
2. 以上精度測量的測試位置在工作臺面中心以上25mm處，測試環境溫度20±1℃，濕度40%-60%RH.
外形尺寸
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型號 |
A |
B |
C |
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QFL3D-50-50-25 |
338mm |
345mm |
411mm |
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QFL3D-100-100-50 |
388mm |
395mm |
461mm |
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QFL3D-150-150-50 |
440mm |
445mm |
520mm
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梁先生